微資訊!和遠氣體:宜昌電子特氣產業(yè)園擬新增電子級硅烷項目
2023-03-08 18:33:32    證券時報·e公司


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和遠氣體(002971)3月8日晚間公告,公司的宜昌電子特氣及功能性材料產業(yè)園項目擬新增電子級硅烷項目。新增的電子級硅烷項目總體規(guī)劃產能為5000噸/年,投資總預算4883萬元。此次新增的電子級硅烷項目所研發(fā)和生產的電子級硅烷產品屬于半導體、光伏領域氮化硅薄膜沉積工序關鍵材料。

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